| 发明名称 |
SEPARATING METHOD INTO SEMICONDUCTOR PELLET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS546456(A) |
申请公布日期 |
1979.01.18 |
| 申请号 |
JP19770071105 |
申请日期 |
1977.06.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIMATA TSUTOMU;KABASHIMA AKIRA;KOZOKAHA SUGURU |
| 分类号 |
H01L21/301;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/304;H05K13/02 |
主分类号 |
H01L21/301 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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