发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS542661(A) 申请公布日期 1979.01.10
申请号 JP19770066758 申请日期 1977.06.08
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TAKASE TAKEOMI;ARAKI YOUICHI
分类号 H01L21/52;H01L23/12;H01L23/48;H01L29/74 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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