发明名称 A METHOD OF OBTAINING QUARTZ FILM OVER SILICON
摘要
申请公布号 BG25767(A1) 申请公布日期 1978.12.12
申请号 BG19770037566 申请日期 1977.10.13
申请人 KONOVA,ANKA A. 发明人 KONOVA,ANKA A.
分类号 B01D9/02;C25D9/00;(IPC1-7):H01L41/14;C23F7/02 主分类号 B01D9/02
代理机构 代理人
主权项
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