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发明名称
摘要
申请公布号
JP3859275(B2)
申请公布日期
2006.12.20
申请号
JP19960231975
申请日期
1996.09.02
申请人
发明人
分类号
G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/06;G01Q60/24;G01Q60/32;G01Q60/38;G01Q80/00;H01J37/28
主分类号
G01B21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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