| 摘要 |
在一目标样品工作表面处形成具有受控稳定性的两道雷射处理射束的方法与系统系包含沿着分离的第一射束路径与第二射束路径来传播且相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束(130、140)，它们系被结合(170)以实施一光学特性调整。该等经结合的雷射射束系被分离(190)成第三雷射射束与第四雷射射束(192、194)，它们系沿着分离的射束路径传播并且包含个别的第三主射束分量与第四主射束分量(1921)，并且该等第三雷射射束与第四雷射射束中其中一者系产生一泄漏分量，该泄漏分量系与该等第三雷射射束与第四雷射射束中另一者的主射束分量(192m)以相互时间相干的方式来共同传播。经由声光调变(150、160)频率偏移或是经由在该等两道射束之中并入一光学路径长度差(404、504)便会降低该泄漏分量及与该泄漏分量共同传播的另一主射束分量之间的相互时间相干性的效应。 |
