| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53135279(A) |
申请公布日期 |
1978.11.25 |
| 申请号 |
JP19780027556 |
申请日期 |
1978.03.10 |
| 申请人 |
POST OFFICE |
发明人 |
MAAKU MARIAN FUAKUTOORU;JIYON REZURII SUTEIIBUNSON |
| 分类号 |
C25F3/12;H01L21/3063;H01L21/316 |
主分类号 |
C25F3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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