发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53117972(A) 申请公布日期 1978.10.14
申请号 JP19770032200 申请日期 1977.03.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKUYAMA KOUSUKE
分类号 H01L21/318;H01L21/283 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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