发明名称 METHOD OF ENGRAVING METAL MASK
摘要
申请公布号 JPS53113602(A) 申请公布日期 1978.10.04
申请号 JP19770028343 申请日期 1977.03.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AKASAKI HIDEHIKO
分类号 G03F7/12;B41C1/04;B41C1/14;B41N1/24;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 G03F7/12
代理机构 代理人
主权项
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