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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53104185(A) 申请公布日期 1978.09.11
申请号 JP19770018193 申请日期 1977.02.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAIKI ATSUSHI;UEKI KAZUYOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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