发明名称 METHOD OF DIFFUSING BOROM
摘要
申请公布号 JPS5391570(A) 申请公布日期 1978.08.11
申请号 JP19740017955 申请日期 1974.02.14
申请人 SANKEN ELECTRIC CO LTD 发明人 SHIYOUNO KATSUFUSA;HIRAYAMA MAKOTO;ONOSAKA JIYUN
分类号 H01L21/225;H01L21/223 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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