| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING THIN FILM PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5384564(A) |
申请公布日期 |
1978.07.26 |
| 申请号 |
JP19770145766 |
申请日期 |
1977.12.06 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
RAMU KUMAA AGUNIHOTORI;HAAMAN KAARU KURUUJI SEKANDO |
| 分类号 |
C23F4/00;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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