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发明名称
摘要
申请公布号 DE2213036(C3) 申请公布日期 1978.06.15
申请号 DE19722213036 申请日期 1972.03.17
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH, 7800 FREIBURG 发明人 SWANN, RICHARD CHARLES GEORGE, HARLOW, ESSEX;ELDRIDGE, PETER GORDON, BISHOPS, STORTFORD, HERTFORDSHIRE
分类号 H01L21/311;H01L21/318;(IPC1-7):C23F1/02 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
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