| 发明名称 |
WAFER HOLDER FOR ION IMPLANTATION PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5341982(A) |
申请公布日期 |
1978.04.15 |
| 申请号 |
JP19760115861 |
申请日期 |
1976.09.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ISHIKAWA TAKASHI;NAKAMURA SHIYUUICHI;KANEGAE MASAKI;TAKEHANA YOUICHI |
| 分类号 |
H01J37/317;H01J37/30;H01L21/265;H01L21/68 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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