发明名称 WERKWIJZE VOOR HET IN DE VORM VAN EEN BEELD WEER- GEVEN VAN EEN BUIGINGSBEELD BIJ EEN MET DOORSTRA- LING WERKENDE DEELTJESSTRAALMICROSCOOP MET EEN RASTER.
摘要
申请公布号 NL7709847(A) 申请公布日期 1978.03.29
申请号 NL19770009847 申请日期 1977.09.07
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT TE BERLIJN EN MUENCHEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. 发明人
分类号 H01J37/26;H01J37/28;H01J37/295;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
地址