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发明名称 METHOD OF REMOVING UNDERETCHED PORTIONS OF THIN LAYER FOR MASKS
摘要
申请公布号 JPS5332676(A) 申请公布日期 1978.03.28
申请号 JP19760107475 申请日期 1976.09.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TANAKA TOSHIO;ISHII MAKOTO
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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