| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING OPTICAL MASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5325101(A) |
申请公布日期 |
1978.03.08 |
| 申请号 |
JP19760099098 |
申请日期 |
1976.08.18 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
HASHIMOTO TADAHIRO;OGUCHI TOSHIO;OKUYAMA YASUSHI;KAMOSHITA MOTOTAKA |
| 分类号 |
G03F7/004;G03C5/00;G03F1/00;H01L21/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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