发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5324781(A) 申请公布日期 1978.03.07
申请号 JP19760098697 申请日期 1976.08.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITOU TATSU;YOSHIMI TAKEO;SUGAWARA KATSUO
分类号 H01L21/283;H01L21/31;H01L21/318 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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