| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR AXIS ALIGNMENT OF ELECTRON BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01232300(A) |
申请公布日期 |
1989.09.18 |
| 申请号 |
JP19880056319 |
申请日期 |
1988.03.11 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
OKUBO KAZUO;ISHIZUKA TOSHIHIRO;ITO AKIO;OZAKI KAZUYUKI;HAMA SOICHI |
| 分类号 |
G21K5/04;H01J37/04;H01J37/22;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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