| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5315764(A) |
申请公布日期 |
1978.02.14 |
| 申请号 |
JP19760089111 |
申请日期 |
1976.07.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AOSHIMA TAKAAKI;SHIMIZU HIROBUMI;YOSHINAKA AKIRA |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/302;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/322;H01L21/331 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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