发明名称 HALBLEITERSTRUKTUR MIT VOM HALBLEITERMATERIAL ISOLIERTEN POLYSILICIUMELEKTRODEN UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2723254(A1) 申请公布日期 1978.01.12
申请号 DE19772723254 申请日期 1977.05.24
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 LEO RIDEOUT,VINCENT
分类号 H01L21/8236;H01L21/28;H01L21/82;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/108;H01L29/417;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/76;G11C11/24 主分类号 H01L21/8236
代理机构 代理人
主权项
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