发明名称 |
HALBLEITERSTRUKTUR MIT VOM HALBLEITERMATERIAL ISOLIERTEN POLYSILICIUMELEKTRODEN UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG |
摘要 |
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申请公布号 |
DE2723254(A1) |
申请公布日期 |
1978.01.12 |
申请号 |
DE19772723254 |
申请日期 |
1977.05.24 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
LEO RIDEOUT,VINCENT |
分类号 |
H01L21/8236;H01L21/28;H01L21/82;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/108;H01L29/417;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/76;G11C11/24 |
主分类号 |
H01L21/8236 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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