| 发明名称 |
ION IMPLANTATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52147073(A) |
申请公布日期 |
1977.12.07 |
| 申请号 |
JP19760063615 |
申请日期 |
1976.06.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TOKIKUCHI KATSUMI;SAKUMICHI KUNIYUKI;KOIKE HIDEKI;KAMATA ICHIROU |
| 分类号 |
H01J37/317;B23K15/00;H01J37/30;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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