发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL BY FLOATTZONE MELTING PROCESS
摘要
申请公布号 JPS52144382(A) 申请公布日期 1977.12.01
申请号 JP19760061496 申请日期 1976.05.27
申请人 MITSUBISHI METAL CORP;NIPPON DENSHI KINZOKU KK 发明人 TAKEMURA KICHIGOROU;MARUYAMA NOBUYUKI
分类号 C30B13/20;H01L21/208 主分类号 C30B13/20
代理机构 代理人
主权项
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