CATODE SPUTTERING EQUIPMENT WITH THIN DEPOSITED LAYERS TEMPERATURE MEASURING DEVICE,申请号CS19720007910-传众专利搜索

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发明名称	CATODE SPUTTERING EQUIPMENT WITH THIN DEPOSITED LAYERS TEMPERATURE MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号	CS179487(B1)	申请公布日期	1977.11.30
申请号	CS19720007910	申请日期	1972.11.21
申请人	WEBER,ULF,DL	发明人	WEBER,ULF,DL
分类号	G01J5/04;G01J5/12;(IPC1-7):G01J5/12	主分类号	G01J5/04
代理机构		代理人
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