| 发明名称 |
RADIATION SENSITIVE MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52142969(A) |
申请公布日期 |
1977.11.29 |
| 申请号 |
JP19760059648 |
申请日期 |
1976.05.25 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
MIYAMURA MASATAKA;TADA TSUKASA;MIURA AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/027;C08F2/46;G03F7/039;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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