放電を計測および検出するための装置、方法およびシステム

摘要

放電の大きさを有し、対応する光学放射線放出を生じさせる放電を、計測し、任意で検出するための装置、方法およびシステムに関する。装置は本発明によるシステムおよび方法を実施し、方法は、最初に、放電の大きさと関連する校正定量計測値およびそれに対応する検出器パラメータを含む既定の校正データを記憶する工程であって、検出器パラメータが、光学検出器と関連する作動パラメータである、工程、特定の検出器パラメータを記憶された校正データとともに受けて処理し、放電を検出する工程、および検出された放電の大きさと関連する定量計測値を決定する工程によって、放電を計測することを含む。