发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52137270(A) 申请公布日期 1977.11.16
申请号 JP19760053280 申请日期 1976.05.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWASAKI TERUO;NISHIMATSU SHIGERU;MUTOU SHINPEI
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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