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发明名称 METHOD OF ETCHING STRATIFIED FILMS
摘要
申请公布号 JPS5298634(A) 申请公布日期 1977.08.18
申请号 JP19760014852 申请日期 1976.02.16
申请人 HITACHI LTD;HITACHI ELECTRONICS 发明人 TSUTSUI KEN;NAKANO TOSHIO;SASANO AKIRA;MATSUMARU HARUO;NISHIMURA TAKEO
分类号 H05K3/06;C23F1/00;C23F1/02;G03F7/09 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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