发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS5293277(A) 申请公布日期 1977.08.05
申请号 JP19760009863 申请日期 1976.01.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAWASAKI KIYOHIRO;ISHIHARA TAKESHI
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/36;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址