发明名称 ION MICROANALYZER
摘要 PURPOSE:To achieve the improvement in analysis efficiency by making the outside electrode potential of objective lens the same potential as specimen.
申请公布号 JPS5284794(A) 申请公布日期 1977.07.14
申请号 JP19760000871 申请日期 1976.01.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAMURA KAZUMITSU
分类号 G01N23/225;H01J37/252 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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