发明名称 |
VERFAHREN ZUR ERHOEHUNG DER UEBERSCHLAGSFESTIGKEIT BEIM TIEGELLOSEN ZONENZIEHEN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE2554647(A1) |
申请公布日期 |
1977.06.08 |
申请号 |
DE19752554647 |
申请日期 |
1975.12.04 |
申请人 |
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH |
发明人 |
KOEHL,FRANZ,DIPL.-PHYS. |
分类号 |
C30B13/20;C30B13/28;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/10 |
主分类号 |
C30B13/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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