发明名称 VERFAHREN ZUR ERHOEHUNG DER UEBERSCHLAGSFESTIGKEIT BEIM TIEGELLOSEN ZONENZIEHEN
摘要
申请公布号 DE2554647(A1) 申请公布日期 1977.06.08
申请号 DE19752554647 申请日期 1975.12.04
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 KOEHL,FRANZ,DIPL.-PHYS.
分类号 C30B13/20;C30B13/28;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/10 主分类号 C30B13/20
代理机构 代理人
主权项
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