发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5268389(A) 申请公布日期 1977.06.07
申请号 JP19750145469 申请日期 1975.12.05
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA MASARU
分类号 H01L21/3205;H01L21/288 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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