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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMIICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS5226162(A) 申请公布日期 1977.02.26
申请号 JP19750102392 申请日期 1975.08.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TANAKA TOSHIO;IKEDA KENJI
分类号 H01L21/208;H01L21/20 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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