发明名称
摘要
申请公布号 DE2043332(A1) 申请公布日期 1971.03.25
申请号 DE19702043332 申请日期 1970.09.01
申请人 HITACHI LTD 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/00;H01L21/18;H01L21/301;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址