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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0429349(A) 申请公布日期 1992.01.31
申请号 JP19900134411 申请日期 1990.05.24
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAMOTO TAKASHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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