| 发明名称 |
HEAT-TREATMENT DEVICE FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02100331(A) |
申请公布日期 |
1990.04.12 |
| 申请号 |
JP19880253338 |
申请日期 |
1988.10.06 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MARUYAMA KENJI;SUGIYAMA IWAO;MURAKAMI SATOSHI |
| 分类号 |
H01L21/477;H01L21/324;H01L31/0264 |
主分类号 |
H01L21/477 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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