发明名称 |
SELECTIVE FILLING METHOD FOR VOID IN SUBMICRON INTERCONNECTION |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0855913(A) |
申请公布日期 |
1996.02.27 |
申请号 |
JP19950139505 |
申请日期 |
1995.06.06 |
申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
ROBAATO EICHI HEIBUMAN;RICHIYAADO EI SUTORUTSU |
分类号 |
H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|