| 摘要 |
본 발명은 기판(S)에 형성되어 있는 배향막에 자외선을 조사함으로써, 배향막을 배향처리하는 광배향 처리장치(1)에 관한 것이다. 광배향 처리장치는, 기판을 지지하는 복수의 기판지지체(7)와, 각각의 기판지지체를 동일한 주행경로(RR)를 따라서 주행시키는 주행기구(5)와, 주행경로를 따라서 주행하는 기판지지체에 의하여 지지되어 있는 기판에 대하여 자외선을 조사하는 자외선 조사장치(9)와, 주행하고 있는 기판지지체끼리가 충돌하지 않도록, 기판지지체를 상기 주행경로로부터 퇴피시키는 퇴피기구(11)를 구비한다. |
