发明名称 POLISHING MACHINE
摘要
申请公布号 US3579917(A) 申请公布日期 1971.05.25
申请号 USD3579917 申请日期 1968.11.15
申请人 SPEEDFAM CORP. 发明人 STEPHEN A. BOETTCHER;LOUIS F. SIMONETTI
分类号 B23Q3/08;B24B37/00;B24B37/04;B24B41/06;(IPC1-7):B24B7/04 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
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