| 发明名称 |
Vacuum chamber for ultra high vacuum processing at high temperatures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0693626(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.09 |
| 申请号 |
EP19950111456 |
申请日期 |
1995.07.20 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
RAMASWAMI, SESHADRI;DAVENPORT, ROBERT;NULMAN, JAIM |
| 分类号 |
B01J3/00;C23C14/34;C23C14/56;F04B37/08;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):F04B37/08;H01L21/00;F04D19/04 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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