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发明名称 IONIZER AND METHOD FOR GAS-CLUSTER ION-BEAM FORMATION
摘要
申请公布号 EP1807859(A2) 申请公布日期 2007.07.18
申请号 EP20050820956 申请日期 2005.10.25
申请人 TEL EPION INC. 发明人 MACK, MICHAEL, E.
分类号 H01J27/02;H01J27/00;H01J49/00 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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