发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08321610(A) 申请公布日期 1996.12.03
申请号 JP19950128476 申请日期 1995.05.26
申请人 SONY CORP 发明人 MANO MICHIO
分类号 H01L21/76;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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