| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0473216(A3) |
申请公布日期 |
1992.03.11 |
| 申请号 |
EP19910202016 |
申请日期 |
1991.08.06 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
MUL, PETRUS MARIA |
| 分类号 |
H01J37/06;H01J37/073;H01J37/16;H01J37/18;H01J37/248;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/073 |
主分类号 |
H01J37/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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