红外探测器像元应力的监控结构及监控方法

摘要

本发明公开了一种红外探测器像元应力的监控结构及监控方法，用于监控红外探测器像元结构中的应力。所述监控结构采用与红外探测器像元结构相同的制造工艺制造，其包括从下至上依次层叠的金属反射层，牺牲层，释放保护及支撑层，敏感材料层，以及覆盖于所述敏感材料层上的未经过图形化处理的金属电极，所述金属反射层作为一下电极板，金属电极作为一上电极板，利用上、下电极板间的电容特性来监控所述红外探测器像元结构中的应力。本发明基于电容值随上、下极板间距变化的原理，通过对电容值进行监测，可以反映出金属反射层与金属电极之间的距离变化，即反应了是否存在极板翘曲现象，从而实现对红外探测器像元结构在应力影响下产生翘曲程度的监控。

主权项

1. 一种红外探测器像元应力的监控结构，用于监控一红外探测器像元结构中的应力，其特征在于，所述监控结构包括从下至上依次层叠的金属反射层，牺牲层，释放保护及支撑层，敏感材料层，以及覆盖于所述敏感材料层上的未经过图形化处理的金属电极，其中，所述金属反射层作为一下电极板，金属电极作为一上电极板，利用所述上、下电极板间的电容特性来监控所述红外探测器像元结构中的应力。