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发明名称 DESIGN SUPPORTING OF LAYOUT PATTERN
摘要
申请公布号 JPH09260495(A) 申请公布日期 1997.10.03
申请号 JP19960062655 申请日期 1996.03.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;MITSUBISHI DENKI SEMICONDUCTOR SOFTWARE KK 发明人 ITOI TOMONORI;ICHIKAWA HIROSHI
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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