| 摘要 |
本发明揭示一种凸块焊球钳固装置，该凸块焊球钳固装置特征在于包括：对齐平板(31)，用于对齐凸块焊球；钳固平台(32)，欲钳固凸块焊球之晶圆系安装在该钳固平台(32)上；钳固平板(42)，系将该凸块焊球钳固至该晶圆之焊垫上；Y–轴移动机构(35)，可于该Y方向中移动该对齐平板(31)，并且使该对齐平板(31)固定在预定位置上；X–轴移动机构，可于该X方向中移动该对齐平板(31)，并且使该对齐平板(31)固定在预定位置上；以及第二Y–轴移动机构(37)，可于该Y方向中移动该钳固平台(32)，并且使该钳固平台(32)固定在预定位置上。 |
