| 摘要 |
本発明は、物体光に含まれる位相情報を高精度に測定することができる光位相測定方法および光位相測定装置に関する。第１光強度検出部および第２光強度検出部において、試験物体光の強度分布をそれぞれ検出する。第１光強度検出部において第１参照光の強度分布を検出し、第２光強度検出部において第２参照光の強度分布を検出する。物体光および第１参照光から生成された第１ホログラムの強度分布を第１光強度検出部で検出する。物体光および第２参照光から生成された第２ホログラムの強度分布を第２光強度検出部で検出する。第１光強度検出部において検出された試験物体光、第１参照光および第１ホログラムの強度分布、ならびに第２光強度検出部において検出された試験物体光、第２参照光および第２ホログラムの強度分布、に基づいて物体光に含まれる位相情報を算出する。 |
