用于室温下低压微刻痕和毫微刻痕光刻的模板

摘要

本发明公开刻痕光刻的模板、形成和使用该模板的方法，以及模板夹持器装置。一刻痕光刻模板可包括带有在本体表面上的多个下凹的本体。本体可以是对触发光基本透明的材料。多个下凹的至少一部分可形成具有特征尺寸约小于250nm的容貌。一模板可这样形成：获得基本上对于触发光透明的材料和在模板的表面上形成多个下凹。在某些实施例中，一模板还可包括至少一个对齐标志。在某些实施例中，一模板还可包括一间隙检测区域。一刻痕光刻模板可用来在衬底上的光致固化液体内形成一刻痕层。在使用过程中，模板可放置在一模板夹持器内。该模板夹持器可包括一带有构造成接纳模板的开口的本体、一支承板，以及连接到本体上的至少一个压电致动器。在使用中，压电致动器可构造成改变模板的物理尺寸。

主权项

1.一种刻痕光刻模板包括：一包括有第一表面的本体；在第一表面上的多个下凹，其中，下凹的至少一部分具有一约小于250nm的特征尺寸；以及本体上的至少一个对齐标记；其中，模板对于触发光基本上为透明的。