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본 발명의 방법은, 제1 유형의 폭변동에 따라 최초 레이아웃의 레이아웃 패턴들의 i번째 세트의 폭 편차 값들의 제1 세트를 결정하는 것을 포함한다. 여기서 최초 레이아웃은 N개의 마스크에 대응하는 레이아웃 패턴들의 N개의 세트를 갖는데, 여기서 레이아웃 패턴들의 i번째 세트는 N개 마스크 중 i번째 마스크에 대응하는 i번째 마스크 할당을 받는다. 순서 지수 i는 1 내지 N의 정수이며, N은 1보다 큰 정수이다. 제2 유형의 폭변동에 따라 최초 레이아웃의 레이아웃 패턴들의 i번째 세트의 폭 편차 값들의 제2 세트가 결정된다. 레이아웃 패턴들의 i번째 세트의 제1 세트 및 폭 편차 값들의 제2 세트에 기초하여 수정된 레이아웃이 생성된다. |
