发明名称 Zweistufige Kryopumpe.
摘要
申请公布号 DE59100757(D1) 申请公布日期 1994.02.10
申请号 DE19915000757 申请日期 1991.01.08
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 HAEFNER, HANS-ULRICH, DR., W-5000 KOELN 50, DE;KLEIN, HANS-HERMANN, PROF. DR., W-6360 FRIEDBERG, DE;TIMM, UWE, PROF. DR., W-6000 FRANKFURT 1, DE
分类号 F04B37/08;(IPC1-7):F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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