| 摘要 |
본 발명은 소형 저장 및 분배 시스템에 특히 적합할 수 있는 블로우-성형된, 강성 붕괴성 라이너에 관한 것이다. 강성 붕괴성 라이너는 예를 들어 외부 컨테이너 없이 사용되는 단독 라이너일 수 있으며, 고정된 가압 분배 캔으로부터 분배될 수 있다. 강성 붕괴성 라이너 내의 폴드는 실질적으로 제거될 수 있으며, 따라서 핀홀, 용접 균열, 및 흘러넘침과 연관된 문제를 실질적으로 감소 또는 제거시킨다. 본 발명은 또한 유리로 제조된 것과 같은 단순한 강성-벽 컨테이너의 대안 또는 대체물로서 사용될 수 있는, 상기 라이너를 구비하는 시스템 및 라이너에 관한 것이다. 이러한 유리한 시스템 및 라이너는 최종 사용자의 기존 펌프 분배 또는 가압 분배 시스템에 대한 수정 없이 고순도 물질을 반도체 공정에 이송하기 위한 시스템 내의 단순한 강성-벽 컨테이너를 대체할 수 있다. |
